Регуляторы и контроллеры расхода серии MFC (MassFlow Controller)
Соответствие RoHS (Директива 2002/95/EC)
Mass Flow Controller / Регулятор Расхода Газа
Flow Control System / Система Регулирования Расхода
- Исключительная точность
Системы FCS-Thermal Series на базе MFC Позволяют получать исключительную точность, быстрый отклик и превосходную повторяемость результатов, благодаря использованию цифровой технологии.
- Высокорентабельный датчик
В MFC FUJIKIN применяется низкотемпературный сенсор, обеспечивающий продолжительный срок службы и допускающий работу с химически активными газами, такими как арсин, фосфин или диборан.
- Надежный диафрагменный регулятор
Компания FUJIKIN имеет богатый опыт в разработке и производстве прецизионных клапанов для различного применения. В MFC используются современные решения, обеспечивающие превосходную быстроту действия соленоида и пьезоэлектрического актуатора. Пьезоактуатор преобразует электрическое напряжение в небольшое, но крайне точно контролируемое линейное перемещение с высоким развиваемым усилием. Данные решения, совместно с особой конструкцией проточной части регулятора обеспечивают высокую точность, высокий коэффициент расхода и отсутствие генерации частиц износа.
Устройство регулятора массового потока газа:
![]() |
1. Направление потока2. Байпас
3. Термосенсор 4. Соленоидный клапан 5. Соединение: ¼’’ F900 (127мм); ¼’’ UJR (124мм); 1.5W или 1.125W (79.8мм / 92мм) 6. Разъем RJ-11 или RJ-45 (цифровой) 7. Разъем D-Sub9 (аналоговый / питание) 8. Светодиод (указывает работоспособность) 9. Кнопка установки нуля |
БАЗОВЫЕ МОДЕЛИ:
FCS Т1000(M)FРасход:
от 10 мл/мин. до 50 л/мин.
|
![]() |
– Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Резиновое или металлическое уплотнение
– Соленоидный клапан – DeviceNet |
FCS Т1000(M)L
Расход: от 10 мл/мин. до 50 л/мин. |
![]() |
– Экономичная модель- Аналоговое управление
– Резиновое или металлическое уплотнение – Соленоидный клапан |
FCS Т1000(M)Z
Расход: от 10 мл/мин. до 50 л/мин. |
![]() |
– Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Резиновое или металлическое уплотнение
– Улучшенные регулировочные характеристики ±1%S.P.(100~25%) – Multi Gas / Multi Flow – DeviceNet |
FCS Т1200(D), T1500(D)
Расход: до 500 л/мин. |
![]() |
– Большой Расход (до 500 л/мин)- Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)
– Резиновое уплотнение – DeviceNet |
FCS Т2000
Расход: от 5 мл/мин. до 150 л/мин. |
![]() |
– Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Металлическое уплотнение
– Пьезоэлектрический клапан – Высокая точность показаний – DeviceNet |
Регуляторы расхода можно использовать в системе под управлением собственной программы или использовать фирменные контроллеры и индикаторы.
Скачать каталог регуляторов расхода газа и принадлежностей.