Соответствие RoHS (Директива 2002/95/EC)

Mass Flow Controller / Регулятор Расхода Газа

Flow Control System / Система Регулирования Расхода

 

• Исключительная точность

Системы FCS-Thermal Series на базе MFC Позволяют получать исключительную точность, быстрый отклик и превосходную повторяемость результатов, благодаря использованию цифровой технологии.

• Высокорентабельный датчик

В MFC FUJIKIN применяется низкотемпературный сенсор, обеспечивающий продолжительный срок службы и допускающий работу с химически активными газами, такими как арсин, фосфин или диборан.

• Надежный диафрагменный регулятор

Компания FUJIKIN имеет богатый опыт в разработке и производстве прецизионных клапанов для различного применения. В MFC используются современные решения, обеспечивающие превосходную быстроту действия соленоида и пьезоэлектрического актуатора. Пьезоактуатор преобразует электрическое напряжение в небольшое, но крайне точно контролируемое линейное перемещение с высоким развиваемым усилием. Данные решения, совместно с особой конструкцией проточной части регулятора обеспечивают высокую точность, высокий коэффициент расхода и отсутствие генерации частиц износа.

 

Устройство регулятора массового потока газа:

1. Направление потока2. Байпас 3. Термосенсор 4. Соленоидный клапан 5. Соединение: ¼’’ F900 (127мм); ¼’’ UJR (124мм); 1.5W или 1.125W (79.8мм / 92мм) 6. Разъем RJ-11 или RJ-45 (цифровой) 7. Разъем D-Sub9 (аналоговый / питание) 8. Светодиод (указывает работоспособность) 9. Кнопка установки нуля

 

БАЗОВЫЕ МОДЕЛИ:

FCS Т1000(M)FРасход: от 10 мл/мин. до 50 л/мин.		– Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Резиновое или металлическое уплотнение – Соленоидный клапан – DeviceNet
FCS Т1000(M)L Расход: от 10 мл/мин. до 50 л/мин.		– Экономичная модель- Аналоговое управление – Резиновое или металлическое уплотнение – Соленоидный клапан
FCS Т1000(M)Z Расход: от 10 мл/мин. до 50 л/мин.		– Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Резиновое или металлическое уплотнение – Улучшенные регулировочные характеристики ±1%S.P.(100～25%) – Multi Gas / Multi Flow – DeviceNet
FCS Т1200(D), T1500(D) Расход: до 500 л/мин.		– Большой Расход (до 500 л/мин)- Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485) – Резиновое уплотнение – DeviceNet
FCS Т2000 Расход: от 5 мл/мин. до 150 л/мин.		– Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Металлическое уплотнение – Пьезоэлектрический клапан – Высокая точность показаний – DeviceNet

 

Регуляторы расхода можно использовать в системе под управлением собственной программы или использовать фирменные контроллеры и индикаторы.

Скачать каталог регуляторов расхода газа и принадлежностей.