Регуляторы и контроллеры расхода серии MFC (MassFlow Controller)

Соответствие RoHS (Директива 2002/95/EC)

Mass Flow Controller / Регулятор Расхода Газа

Flow Control System / Система Регулирования Расхода

 

  • Исключительная точность

Системы FCS-Thermal Series на базе MFC Позволяют получать исключительную точность, быстрый отклик и превосходную повторяемость результатов, благодаря использованию цифровой технологии.

  • Высокорентабельный датчик

В MFC FUJIKIN применяется низкотемпературный сенсор, обеспечивающий продолжительный срок службы и допускающий работу с химически активными газами, такими как арсин, фосфин или диборан.

  • Надежный диафрагменный регулятор

Компания FUJIKIN имеет богатый опыт в разработке и производстве прецизионных клапанов для различного применения. В MFC используются современные решения, обеспечивающие превосходную быстроту действия соленоида и пьезоэлектрического актуатора. Пьезоактуатор преобразует электрическое напряжение в небольшое, но крайне точно контролируемое линейное перемещение с высоким развиваемым усилием. Данные решения, совместно с особой конструкцией проточной части регулятора обеспечивают высокую точность, высокий коэффициент расхода и отсутствие генерации частиц износа.

 

Устройство регулятора массового потока газа:

 PIC2_Construction 1. Направление потока2. Байпас

3. Термосенсор

4. Соленоидный клапан

5. Соединение: ¼’’ F900 (127мм); ¼’’ UJR (124мм); 1.5W или 1.125W (79.8мм / 92мм)

6. Разъем RJ-11 или RJ-45 (цифровой)

7. Разъем D-Sub9 (аналоговый / питание)

8. Светодиод (указывает работоспособность)

9. Кнопка установки нуля

 

БАЗОВЫЕ МОДЕЛИ:

FCS Т1000(M)FРасход:

от 10 мл/мин. до 50 л/мин.

 

 Pic3_t10002 – Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Резиновое или металлическое уплотнение

– Соленоидный клапан

– DeviceNet

FCS Т1000(M)L

Расход:

от 10 мл/мин. до 50 л/мин.

 Pic3_T1000L – Экономичная модель- Аналоговое управление

– Резиновое или металлическое уплотнение

– Соленоидный клапан

FCS Т1000(M)Z

Расход:

от 10 мл/мин. до 50 л/мин.

 Pic3_T1000M – Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Резиновое или металлическое уплотнение

– Улучшенные регулировочные характеристики

±1%S.P.(100~25%)

– Multi Gas / Multi Flow

– DeviceNet

FCS Т1200(D), T1500(D)

Расход: до 500 л/мин.

 Pic3_T1000 – Большой Расход (до 500 л/мин)- Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)

– Резиновое уплотнение

– DeviceNet

FCS Т2000

Расход:

от 5 мл/мин. до 150 л/мин.

 Pic3_T2000 – Поддержка аналогового и цифрового интерфейса (RS-485)- Металлическое уплотнение

– Пьезоэлектрический клапан

– Высокая точность показаний

– DeviceNet

 

Регуляторы расхода можно использовать в системе под управлением собственной программы или использовать фирменные контроллеры и индикаторы.

Скачать каталог регуляторов расхода газа и принадлежностей.