Крупные насосы VacIon Plus
- Производительность: 150..1000 л/с
- Вакуум: 1^-6 мбар
Диапазон производительности крупных насосов VacIon Plus составляет от 150 л/с до 1000 л/с по азоту. Данная серия может комплектоваться Диодом, Инертным диодом или триодом StarCell.
- Диодные насосы Vaclon Plus используются для общих применений в сверхвысоковакуумных системах для обезгаживания полупроводниковых электровакуумных приборов, а так же в чувствительных электронных микроскопах.
- Насосы с инертным диодом применяются при сверхвысоком вакууме, когда смесь газов откачивается при постоянном давлении, что идеально для получения сверхвысоковакуумного давления в ускорителях частиц, синхротронных кольцах и анализе поверхностей.
- Запатентованная технология с триодом StarCell позволяет ионному насосу откачивать инертные газы и азот в высоких количествах. Также с ее помощью достигается наивысшая быстрота откачки метана, аргона и гелия.
Технические характеристики
Характеристика / Модель Рабочий элемент Скорость откачки по азоту
Срок службы Вес Входной фланец
Ед.изм. л/с при 1^-6 мбар часов при 1^-6 мбар кг
VacIon Plus 150 StarCell
Инертн. диод
Диод125
135
15080000
50000
5000043 6" OD CFF (NW 100)
VacIon Plus 200 StarCell
Инертн. диод
Диод180
185
20080000
50000
5000051 8" CFF (NW 160)
VacIon Plus 300 StarCell
Инертн. диод
Диод240
260
30080000
50000
5000069 8" OD CFF (NW 150)
VacIon Plus 500 StarCell
Инертн. диод
Диод410
440
50080000
50000
50000120 8" OD CFF (NW 150)
VacIon Plus 1000 Инертн. диод
Диод800
100080000
50000265 12" CFF (NW 250)