Главная » Магнитноразрядные Agilent » Крупные насосы VacIon Plus

Крупные насосы VacIon Plus


  • Производительность: 150..1000 л/с
  • Вакуум: 1^-6 мбар

Диапазон производительности крупных насосов VacIon Plus составляет от 150 л/с до 1000 л/с по азоту. Данная серия может комплектоваться Диодом, Инертным диодом или триодом StarCell.

  • Диодные насосы Vaclon Plus используются для общих применений в сверхвысоковакуумных системах для обезгаживания полупроводниковых электровакуумных приборов, а так же в чувствительных электронных микроскопах.

 

  • Насосы с инертным диодом применяются при сверхвысоком вакууме, когда смесь газов откачивается при постоянном давлении, что идеально для получения сверхвысоковакуумного давления в ускорителях частиц, синхротронных кольцах и анализе поверхностей.

 

  • Запатентованная технология с триодом StarCell позволяет ионному насосу откачивать инертные газы и азот в высоких количествах. Также с ее помощью достигается наивысшая быстрота откачки метана, аргона и гелия.

 

Технические характеристики

Характеристика / МодельРабочий элементСкорость откачки по азоту
Срок службы Вес Входной фланец
Ед.изм.л/с при 1^-6 мбарчасов при 1^-6 мбаркг
VacIon Plus 150StarCell
Инертн. диод
Диод
125
135
150
80000
50000
50000
436" OD CFF (NW 100)
VacIon Plus 200StarCell
Инертн. диод
Диод
180
185
200
80000
50000
50000
518" CFF (NW 160)
VacIon Plus 300StarCell
Инертн. диод
Диод
240
260
300
80000
50000
50000
698" OD CFF (NW 150)
VacIon Plus 500StarCell
Инертн. диод
Диод
410
440
500
80000
50000
50000
1208" OD CFF (NW 150)
VacIon Plus 1000Инертн. диод
Диод
800
1000
80000
50000
26512" CFF (NW 250)