Главная » Магнитноразрядные Agilent » Средние насосы VacIon Plus

Средние насосы VacIon Plus


  • Производительность: 20..75 л/с
  • Вакуум: 1^-6 мбар

Диапазон производительности средних насосов VacIon Plus составляет от 20 до 75 л/с по азоту. Данная серия может комплектоваться Диодом, Инертным диодом или триодом StarCell.

  • Диодные насосы Vaclon Plus используются для общих применений в сверхвысоковакуумных системах для обезгаживания полупроводниковых электровакуумных приборов, а так же в чувствительных электронных микроскопах.

 

  • Насосы с инертным диодом применяются при сверхвысоком вакууме, когда смесь газов откачивается при постоянном давлении, что идеально для получения сверхвысоковакуумного давления в ускорителях частиц, синхротронных кольцах и анализе поверхностей.

 

  • Запатентованная технология с триодом StarCell позволяет ионному насосу откачивать инертные газы и азот в высоких количествах. Также с ее помощью достигается наивысшая быстрота откачки метана, аргона и гелия.

 

Технические характеристики

Характеристика / МодельРабочий элементСкорость откачки по азоту
Срок службы Вес Входной фланец
Ед.изм.л/с при 1^-6 мбарчасов при 1^-6 мбаркг
VacIon Plus 20StarCell
Инертн. диод
Диод
20
22
27
80000
50000
50000
72 3/4" OD CFF (NW 35)
VacIon Plus 40StarCell
Инертн. диод
Диод
34
36
40
80000
50000
50000
172 3/4" OD CFF (NW 35)
VacIon Plus 55StarCell
Инертн. диод
Диод
50
53
55
80000
50000
50000
184 1/2" OD CFF (NW 63)
VacIon Plus 75StarCell
Инертн. диод
Диод
65
68
75
80000
50000
50000
196" OD CFF (NW 35)